紫外負(fù)膠(厚膠),適用于LIGA及MEMS應(yīng)用,涂膠厚度 10um@1000rpm。SX AR-N 4600-10/3 : 結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性好、重復(fù)性好,厚度可達(dá)幾百微米,適用于保留膠體結(jié)構(gòu)的應(yīng)用,SX AR-N 4650-10/4 : 容易去膠,適合于電鑄工藝。
貨號 | 規(guī)格 | 數(shù)量 | 價(jià)格 |
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Q-0101357 | 100mg |
1
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詢價(jià) |
Q-0101357 | 250mg |
1
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詢價(jià) |
Q-0101357 | 500mg |
1
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詢價(jià) |
Q-0101357 | 1g |
1
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詢價(jià) |
Q-0101357 | 5g |
1
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詢價(jià) |

SX AR-N 4600-10/3
SX AR-N 4650-10/4
紫外負(fù)膠(厚膠),適用于LIGA及MEMS應(yīng)用,涂膠厚度 10um@1000rpm。SX AR-N 4600-10/3 : 結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性好、重復(fù)性好,厚度可達(dá)幾百微米,適用于保留膠體結(jié)構(gòu)的應(yīng)用,SX AR-N 4650-10/4 : 容易去膠,適合于電鑄工藝。
類別:一種光刻膠
供應(yīng)商:西安pg電子官方生物科技有限公司
用途:科研
相關(guān)產(chǎn)品:
紫外光刻膠(Photoresist)
類型 |
型號 |
特性 |
正膠 |
AR-P 1200 |
適合噴涂(Spray Coating)的正性光刻膠。膠層表面非常平整,且可很好的保護(hù)粗糙的襯底表面,可用于復(fù)雜工藝。 |
AR-P 3100 |
高靈敏度光刻膠.膠膜薄且均勻. 在玻璃和鍍鉻表面附著力好,可用于光學(xué)器件加工,掩膜制作等。另有,AR-P 3170 可以做出 100nm,甚至更小的線條(幾十納米)。 |
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AR-P 3200 |
黏度大,可得到厚膠膜,厚度可達(dá)幾十微米,甚至上百微米。膠膜覆蓋能力好,適合粗糙的 Wafer 表面涂膠,可很好的保護(hù)結(jié)構(gòu)邊緣。圖形剖面邊緣陡直。適合做LIGA或電鍍工藝等。 |
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AR-P 3500 |
于集成電路制造中的掩膜加工。 高敏感、高分辨率且在金屬和氧化物表面附著力好。其中,AR-P 3500T是針對 AR-P 3500 系列進(jìn)行優(yōu)化,而新研制的一種光刻膠;性能和AR-P 3500相似 |
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AR-P 3740 |
高分辨率光刻膠,制作亞微米結(jié)構(gòu),適于高集成電路制作。光刻膠表面平整均勻,高敏感度、高對比、工藝寬容度大。 AR-P 3840為染色的光刻膠,可以降低駐波和散射等的影響。 |
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AR-P 5300 |
Lift-off工藝用膠,利用普通的光刻工藝便可很容易得進(jìn)行剝離工藝。高敏感、高分辨率, 且與金屬和氧化物表面附著良好。 |
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參數(shù)信息 | |
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外觀狀態(tài): | 固體或粉末 |
質(zhì)量指標(biāo): | 95%+ |
溶解條件: | 有機(jī)溶劑/水 |
CAS號: | N/A |
分子量: | N/A |
儲存條件: | -20℃避光保存 |
儲存時(shí)間: | 1年 |
運(yùn)輸條件: | 室溫2周 |
生產(chǎn)廠家: | 西安pg電子官方生物科技有限公司 |
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KrF深紫外光刻膠系列 DK2060 DK3030 DKN1100
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DK1089 DK1087 KrF深紫外光刻膠系列
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AR-N 4400 厚膠,化學(xué)放大膠,可以做lift-off工藝。 i線、g線、深紫外、X-ray、電子束等都可以實(shí)現(xiàn)曝光。涂膠厚度從幾十微米到上百微米,覆蓋能力好,可用于表面粗糙的wafer表面涂覆,且剖面陡直,高分辨率;瘜W(xué)放大膠,靈敏度也非常高?捎糜贚IGA、電鍍等工藝。 采用堿性水溶液顯影,除膠非常容易,可以替代傳統(tǒng)的SU8膠。
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AR-N 4340 化學(xué)放大膠,紫外曝光,可做lift-off工藝。 i線、g線曝光。化學(xué)放大膠,高靈敏度,高分辨率,高對比度,在金屬和氧化物表面附著力好,可用于lift-off工藝。