為了改善摻氟氧化錫(FTO)薄膜的光電性能，提出了一種簡單的透明罩輔助激光退火策略，即用覆蓋玻璃或PET片作為透明罩。采用純激光退火進(jìn)行比較。

研究發(fā)現(xiàn)，透明罩輔助激光退火能**地產(chǎn)生密度較大的顆粒，降低表面粗糙度，增加晶粒尺寸，從而提高薄膜的透光率和導(dǎo)電性。

更重要的是，與覆蓋玻璃輔助激光退火相比，pet輔助激光退火可以使薄膜表面覆蓋更均勻、更致密的顆粒，晶粒尺寸**增大。

因此薄膜的總透過率最高為84.32%，鏡面透過率最高為75.88%，霧度略有下降為10.01%，片狀電阻**為7.36 Ω/sq。

簡單的pet輔助激光退火方法有望替代傳統(tǒng)的激光退火處理方法。

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