采用低成本的化學(xué)還原方法制備了磁控濺射沉積在鋁摻雜氧化鋅（Al:ZnO, AZO）光電材料薄膜中的還原金納米粒子（Au-NPs）。

在不同的工藝參數(shù)下混合Au- nps，可以**地去除Au- nps上的有機(jī)物，形成Au的三維準(zhǔn)晶體結(jié)構(gòu)，從而改善光電材料AZO薄膜的光電性能。

采用不同濺射功率制備**的AZO種子層，通過調(diào)節(jié)燒結(jié)溫度和旋轉(zhuǎn)鍍膜轉(zhuǎn)速，提高Au-NPs對(duì)AZO薄膜光電性能的影響。

利用透射電子顯微鏡、掃描電子顯微鏡和x射線衍射儀分析了Au-NPs的結(jié)構(gòu)和分布，

以及光電材料AZO薄膜的晶體特性。利用紫外-可見-近紅外分光光度計(jì)和霍爾效應(yīng)測(cè)量系統(tǒng)對(duì)薄膜的光電性能進(jìn)行了測(cè)量。

根據(jù)實(shí)驗(yàn)結(jié)果，在150 W的濺射功率下沉積AZO種子層，在500℃下進(jìn)行熱退火處理，在3000 rpm的轉(zhuǎn)速下將Au-NPs自旋涂覆在AZO薄膜的織構(gòu)表面，

得到Au-NPs分布**的準(zhǔn)網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)。這種結(jié)構(gòu)使薄膜的電阻減小到3.57 × 10?3 Ω-cm，在可見光譜范圍內(nèi)的**透光率為84.15％，其優(yōu)值為3.99 × 10?4 Ω?1。

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