靶材是制備薄膜的主要材料之一,主要應(yīng)用于集成電路、平板顯示、太陽能電池、記錄媒體、智能玻璃等,對材料純度和穩(wěn)定性要求高。陶瓷靶材作為非金屬薄膜產(chǎn)業(yè)發(fā)展的基礎(chǔ)材料,已得到空前的發(fā)展,靶材市場規(guī)模日益膨脹。
陶瓷靶材的種類:
(1)按應(yīng)用來分,可分為半導(dǎo)體關(guān)聯(lián)陶瓷靶材、顯示陶瓷靶材、磁記錄陶瓷靶材、光記錄陶瓷靶材、超導(dǎo)陶瓷靶材、巨磁電阻陶瓷靶材等。
(2)按化學(xué)組成,可分為氧化物陶瓷靶材、硅化物陶瓷靶材、氮化物陶瓷靶材、氟化物陶瓷靶材和硫化物陶瓷靶材等。其中平面顯示ITO陶瓷靶材國內(nèi)已廣泛生產(chǎn)應(yīng)用。高介電絕緣膜用陶瓷靶材和巨磁電阻陶瓷靶材具有廣闊的應(yīng)用前景。
濺射陶瓷靶材的制備方法:常用的成型方法有干壓成型、冷等靜壓成型等。冷等靜壓成型由于具有坯體密度高而且均勻,磨具制作方便,成本較低等優(yōu)點,故而成為常用的成型方法。陶瓷靶材的燒結(jié)常采用常壓燒結(jié)、熱壓燒結(jié)及氣氛燒結(jié)等方法。
陶瓷靶材的特性要求:
(1)純度:陶瓷靶材的純度對濺射薄膜的性能影響很大,純度越高,濺射薄膜的均勻性和批量產(chǎn)品的質(zhì)量的一致性越好。
(2)密度:為了減少陶瓷靶材的氣孔,提高薄膜性能,要求濺射陶瓷靶材具有高密度。靶材越密實,濺射顆粒的密度月底,放電現(xiàn)場就越弱,薄膜的性能也越好。
(3)成分與結(jié)構(gòu)均勻性:為保證濺射薄膜均勻,尤特在復(fù)雜的大面積鍍膜應(yīng)用中,必須做到靶材成分與結(jié)構(gòu)均勻性好。
西安pg電子官方生物科技有限公司可根據(jù)客戶要求定制各種金屬靶材,多種形態(tài)(平面靶、多弧靶、旋轉(zhuǎn)靶及其它異形靶材),純度,包裝從克至噸級的高純金屬單質(zhì)。
以下是客戶經(jīng)常購買的陶瓷濺射靶材產(chǎn)品目錄
溫馨提示:靶材形狀:板材,圓片,矩形,方形,圓環(huán),圓棒,臺階圓片,臺階矩形,三角形,管狀靶,套靶等或按客戶要求訂做,可根據(jù)客戶提供的圖紙要求加工. 并可以為客戶提供部分靶材的定制服務(wù).西安pg電子官方生物提供的所有產(chǎn)品僅用于科研,axc.2021.01.21