西安pg電子官方生物科技有限公司供應(yīng)的濺射靶材主要通過燒結(jié)、熱等靜壓、真空熔煉、粉末冶金等方法制備，可根據(jù)客戶的具體要求定做不同成分、規(guī)格的鍍膜材料，并為客戶提供技術(shù)上的服務(wù)與支持。

鈦鋁合金是一種真空鍍膜用合金濺射靶材，在該合金中通過調(diào)配鈦與鋁的含量可以獲得不同特性 的鈦鋁合金靶材。鈦鋁金屬間化合物屬于硬脆材 料，具有很好的耐磨性，在普通刀具表面覆著一層鈦 鋁金屬間化合物，可以**延長刀具的使用時(shí)間。

   濺射合金靶材需要滿足純度、致密度、晶粒度、表面光潔度等要求。其中純度、致密度及晶粒度 與靶材制備工藝直接相關(guān)。金屬合金制備通常采用的普通熔煉法。但鈦鋁合金的制備不適于采用該方法，主要原因如下：

(1) 鈦鋁合金熔煉過程易形成多種金屬間化合物，如 Ti3A1、TiAl、TiAl2、TiAl3等，這些金屬間化合物的存 在導(dǎo)致鈦鋁合金的加工脆性，特別是當(dāng)合金中鋁含 量超過50％(原子比)，該問題尤為明顯；

(2)熔煉工 藝制備鈦鋁合金靶材，澆注過程中易產(chǎn)生氣泡、疏松 和偏析，造成合金中成分與組織不均勻，導(dǎo)致靶材品 質(zhì)不穩(wěn)定蚓6。

目前鈦鋁合金濺射靶材的主要制備技術(shù)有：強(qiáng) 電流加熱法、熱等靜壓燒結(jié)法、熱壓燒結(jié)法。 

1.強(qiáng)電流加熱法 

該法采用可獲得大電流的裝置， 利用大電流使鈦粉和鋁粉發(fā)熱，施以壓力，使鋁和鈦 自身反應(yīng)形成鈦鋁合金靶材。該法制備得到的鈦鋁合金靶材產(chǎn)品的致密度 >99％，晶粒尺寸≤100微米，純度>99％。

2.熱等靜壓燒結(jié)法

該法將鈦粉和鋁粉進(jìn)行混料，然后 經(jīng)過裝粉和冷等靜壓預(yù)壓制、脫氣工藝后再進(jìn)行熱 等靜壓壓制成型，**后進(jìn)行燒結(jié)和加工得到鈦鋁合金靶材。該法制備的鈦鋁合金靶材具有致密度高、無氣 孔、無疏松和偏析、成分均勻、晶粒細(xì)小等特點(diǎn)。

3.熱壓燒結(jié)法 

該工藝使鈦鋁粉體在熱和力的共同 作用下燒結(jié)成型，利用Ti—Al混合物中鋁的熔點(diǎn) 低，將鈦粉粘結(jié)在一起，形成合金濺射靶材。熱壓 燒結(jié)示意圖如圖2所示。該法制備得到的合金靶材致密度高(≥95％)， 晶粒尺寸細(xì)小(≤100 微米)，成分均勻。用該工藝可 制備出不同成分的鈦鋁合金靶材。

以下是客戶經(jīng)常購買的金屬合金靶材，如有金屬濺射靶材的需要請來咨詢我們。

溫馨提示：西安pg電子官方生物提供的所有產(chǎn)品僅用于科研，axc.2021.01.20